在生產(chǎn)半導(dǎo)體元器件、鋰電池、電芯等產(chǎn)品的時候，需要經(jīng)過高溫烘烤，在這一步驟中，防氧化真空烘箱將被加熱至所需溫度，通常在200℃~400℃之間。通過供烤，可以去除設(shè)備內(nèi)部和材料表面的濕氣以及其他雜質(zhì)，為接下來的生產(chǎn)制造做準(zhǔn)備。你有沒有想過，為什么要用防氧化真空烘箱而不是普通的高溫箱呢？下面，小編就為大家解開這個疑問。

防氧化真空烘箱是將涂敷BCB或PI的襯底放入真空無氧烘箱中，通入N2→真空置換后，采用多級升溫保溫的方式，在規(guī)定的時間從室溫升至第一溫度階段，并在該溫度段保溫1-2h，再在規(guī)定的時間從第一溫度升至第二溫度階段，并在該溫度段保溫一定的時間；隨后增通過輔助的降溫系統(tǒng)（水冷和風(fēng)冷），將退火爐的溫度降至80度左右，完成固化。

在高溫下，材料或樣品容易與氧氣發(fā)生反應(yīng)并氧化，造成品質(zhì)損失或性能下降。通過向干燥箱或烘箱中充入氮氣，可以降低氧氣濃度，減少氧化反應(yīng)的發(fā)生。

防氧化真空烘箱充氮氣進(jìn)入后，能防止試件表面因為高溫加熱后發(fā)生氧化變色。 常規(guī)烘箱（電熱恒溫鼓風(fēng)干燥箱或熱風(fēng)循環(huán)烘箱）經(jīng)過高溫加熱鼓風(fēng)循環(huán)后，有些易氧化的試件表面會大面積發(fā)生氧化，充入惰性氣體后能一定程度改善此類問題。

防氧化真空烘箱技術(shù)指標(biāo)：